Жұмыс теориясы：

Пешті вакуумдау үшін алдын ала сорғымен сорғытып, содан кейін белгіленген температураға дейін қыздыру арқылы нитридтеу процесі үшін аммиакты үрлеп, содан кейін бірнеше циклден кейін нитридтің мақсатты тереңдігіне жету үшін қайтадан сорғылап үрлеңіз.

Артықшылықтары:

Дәстүрлі газды азоттаумен салыстырыңыз. Вакуумдық қыздыру кезінде металл бетін белсендіру арқылы вакуумдық азоттау жақсы адсорбциялық қабілетке ие, бұл процесс уақытын азайтады, қаттылықты арттырады,дәлбасқару, газ шығынын азайту, тығызырақ ақ қосылыс қабаты.