Сипаттамалары:

1) Нитридтеу жылдамдығы жоғарырақ, нитридтеу циклін тиісті түрде қысқартуға болады, ал иондық нитридтеу уақытын газды азоттау уақытының 1/3-2/3 бөлігіне дейін қысқартуға болады.

2) Нитридтеу қабатының сынғыштығы аз, ал плазмалық нитридтеу бетінде пайда болған ақ қабат өте жұқа немесе мүлдем жоқ. Сонымен қатар, нитридтеу қабатының деформациясы аз, бұл әсіресе күрделі пішінді дәл бөлшектерге өте қолайлы.

3) Энергия мен аммиак шығынын үнемдеуге болады. Электр энергиясын тұтыну газды азоттаудың 1/2-1/5 бөлігін, ал аммиак шығыны газды азоттаудың 1/5-1/20 бөлігін құрайды.

4) Жергілікті нитридтеуді жүзеге асыру оңай, егер нитридтеуді қаламайтын бөлік жарқыл шығармаса, нитридтелмейтін бөлікті қорғау оңай, ал жарқыл механикалық қорғаныс пен темір пластинамен қорғалуы мүмкін.

5) Иондық бомбалау бетті тазартып, пассивация пленкасын автоматты түрде алып тастай алады. Тот баспайтын болат пен ыстыққа төзімді болатты пассивация пленкасын алдын ала алып тастамай-ақ тікелей нитридтеуге болады.

6) Құрама қабат құрылымын, инфильтрация қабатының қалыңдығын және құрылымын басқаруға болады.

7) Өңдеу температура диапазоны кең, және 350°C төмен температурада да белгілі бір қалыңдықтағы нитридтеу қабатын алуға болады.

8) Еңбек жағдайлары жақсартылды. Ластанудан таза және плазмалық азоттау өте төмен қысыммен, өте аз шығарынды газбен жүзеге асырылады. Газ көзі - азот, сутегі және аммиак, және негізінен зиянды заттар бөлінбейді.

9) Оны тот баспайтын болат, жоғары азоттау температурасы бар ыстыққа төзімді болат, аспаптық болат және төмен азоттау температурасы бар дәл бөлшектерді қоса алғанда, барлық материалдарға қолдануға болады, ал төмен температуралы азоттау газды азоттау үшін өте қиын.