Жұмыс теориясы:

Пешті вакуумға алдын ала айдап, содан кейін белгіленген температураға дейін қыздыру арқылы азоттау процесі үшін аммиакты үрлеңіз, содан кейін нитридтің мақсатты тереңдігіне жету үшін бірнеше циклден кейін айдап, қайтадан үрлеңіз.

Артықшылықтары:

Дәстүрлі газды азоттаумен салыстырыңыз. Вакуумды қыздыру кезінде металл бетінің белсенді болуы арқылы вакуумды азоттау жақсы адсорбциялық қабілетіне ие болады, бұл процесс аз уақытты, жоғары қаттылықты,дәлбақылау, аз газ шығыны, көбірек тығыз ақ құрама қабат.