Сипаттамалары:

1) Азоттау жылдамдығы жылдамырақ, азоттау циклін тиісті түрде қысқартуға болады, ал иондық азоттау уақытын газды азоттау уақытының 1/3-2/3 бөлігіне дейін қысқартуға болады.

2) Азоттау қабатының сынғыштығы аз, ал плазмалық азоттау бетінде түзілген ақ қабат өте жұқа, тіпті жоқ. Сонымен қатар, азоттау қабатынан туындаған деформация аз, бұл әсіресе күрделі пішіні бар дәл бөлшектер үшін қолайлы.

3) Энергия мен аммиак шығынын үнемдеуге болады. Электр энергиясының шығыны газды азоттаудың 1/2-1/5 бөлігін, аммиак шығыны газды азоттаудың 1/5-1/20 бөлігін құрайды.

4) Жергілікті азоттауды жүзеге асыру оңай, өйткені азоттауды қаламайтын бөлік жарқырауды бермесе, азотталмаған бөлікті қорғау оңай, ал жарқырау механикалық экрандау және темір пластина арқылы қорғалуы мүмкін.

5) Иондық бомбалау бетті тазартып, пассивациялық пленканы автоматты түрде жоя алады. Тот баспайтын болат пен ыстыққа төзімді болатты алдын ала пассивациялық пленканы алып тастамай, тікелей азоттауға болады.

6) Құрама қабат құрылымын, инфильтрациялық қабаттың қалыңдығын және құрылымын басқаруға болады.

7) Өңдеу температурасының диапазоны кең, азоттау қабатының белгілі бір қалыңдығын 350 С төмен де алуға болады.

8) Еңбек жағдайлары жақсартылды. Ластанусыз және плазмалық азотпен өңдеу өте аз шығатын газбен өте төмен қысымда жүргізіледі. Газ көзі азот, сутегі және аммиак болып табылады және негізінен зиянды заттар шығарылмайды.

9) Оны тот баспайтын болат, жоғары азоттау температурасы бар ыстыққа төзімді болат, аспаптық болат және азоттау температурасы төмен дәл бөлшектерді қоса алғанда, материалдардың барлық түрлеріне қолдануға болады, ал төмен температурада азоттау газды азоттау үшін өте қиын.