Вакуумдық карбюризация – дайындаманы вакуумда қыздыру.Ол критикалық нүктеден жоғары температураға жеткенде, ол біраз уақыт қалады, газсызданады және оксидті пленканы алып тастайды, содан кейін көміртекті және диффузия үшін тазартылған карбюризатор газына өтеді.Вакуумды карбюризациялаудың карбюризация температурасы жоғары, 1030 ℃ дейін және карбюризация жылдамдығы жылдам.Карбюрленген бөлшектердің беттік белсенділігі газсыздандыру және тотықсыздандыру арқылы жақсарады.Кейінгі диффузия жылдамдығы тым жоғары.Карбюризация және диффузия қажетті беттік концентрация мен тереңдікке жеткенше қайта-қайта және кезектесіп орындалады.
Вакуумды карбюризациялау тереңдігі мен бетінің концентрациясын бақылауға болады;Ол металл бөлшектердің беткі қабатының металлургиялық қасиеттерін өзгерте алады және оның тиімді карбюризациялау тереңдігі басқа әдістердің нақты көміртектеу тереңдігінен тереңірек.